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圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶磁场的设计计算
释义
圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶磁场的设计计算
THE DESIGN AND CALCULATION OF MAGNETIC FIELD IN THE ROTARY COLUMN DOUBLE MAGNETRON SPUTTERING TARGET
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更新时间：2026/9/6 16:05:42